自從Reynolds 1886年提出流體潤滑理論以後。相繼出現了邊界潤滑、彈性流體動力潤滑和混合潤滑。混合潤滑只是描述各種潤滑狀態共存時的牽擦狀態。不是具備獨特機理的潤滑。因此。無論從膜厚還是摩攘特性來看，在彈性流體動力潤滑和邊界潤滑之間存在著一個空白帶。
當潤淆膜厚達到奈米峨級時。鑑體表面的物理特性對潤滑腆的影響就非常顯著而不能忽視，特別是對於金腸、金屬氧化物等高能表面。其表面能對潤滑分子的作用就更加顯著。由於基體表面對潤滑膜的影響的研究涉及到基體表面的物理化學特性。因此，在摩鑲學傾城墓本上主耍考慮峨體表面形貌以及潤滑新增荊與表面的化學作用對潤滑效果的影響，很少涉及固體表面力學特性對潤滑分子的影響。1994年，。加-kowski等人用數仗計算的方法分析了固體表面張力對非牛傾體流動特性的影響。也就在這一年，Thompson等人用分子動力學棋擬的辦法探討了固體表面對潤滑分子行為的影響。1996年。雄建斌和沮詩鑄在實驗中觀察到鵝體表面張力對潤滑膜厚度和實踐效應的影響。隨著納術技術的迅速發展以及奈米洲最僅器的不斷改進和更新，摩攘學鎮城已經完全可以在奈米尺度上研究問頤，
與LB膜相比，株定性好、與墓底結合力強、製備方法簡單的SAM膜是有優勢的。所謂SAM腆，獲是自組裝膜（Self-Assembled Monolayer， SAM）。是指帶有反應活性革團的長鏈單分子透過化學勝吸附在基底表面的有序單層或多層分子膜。它的型別很多。其中長鏈破極化合物和碳奴化合物非常適用於MEMS表面的潤滑。因為它能在徑攀化的權化多晶矽、氮化矽以及鋁表面形成透過化學鍵鍵合形成高度有序排列的單分子膜，這些超薄膜在摩擦過程中具有較低的衝擦係數（表5-3）。在徽電動機中，採用SAMS薄膜潤滑可以減小起動卒攘和樸摩擦《魔擦係數從2。30降低至0。08）。能顯著降低磨損（靜電制動器接觸模式下運轉週期翅過40 000 000次）。而且還能降低對封裝環境的要求（在各種含板或不含權的環境條件下，熱徐定沮度能達到4（0C）。
