CINNO Research產業資訊，SK海力士利川M16工廠3名工人在檢查裝置的過程中因毒性物質氟酸洩露受傷。M16工廠是上個月竣工的DRAM生產工廠。
根據韓媒朝鮮日報4月6日報道，當天上午11點34分時，在對京畿道利川市SK海力士 M16工廠5樓的裝置進行檢查時發生氫氟酸洩漏。在這起事故中，一名（30歲）工人的胳膊和腿被燒傷，一起作業的兩名僱員B某（27）等也因吸入氟酸氣體轉移至附近醫院救治。據訊息，3名均無生命危險。
氟酸是無色毒性氟化氫溶解在水中的揮發性液體。使用於半導體電路繪製Pattern的蝕刻製程中。
警方認為事故是在設施維護公司對環境分析裝置進行試運時發生500毫升氫氟酸洩露。在當天的下午1點40分左右，氫氟酸的濃度被測量為0％。
SK海力士表示故是在檢查新的M16工廠裝置的過程中發生，對半導體生產沒有造成影響。
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