氯化反應太劇使蝕刻機周圍充滿了氯氣 ORP測頭太髒 檢查測頭，如發現尖端有氧化物時，用橡皮擦拭
測頭不標準 測頭在裝機時應該先校正
氯氣源到蝕刻槽間的管路漏氣 用浸過稀氨水的溼布沿沿管路附近移動，漏氯氣處立即出白霧狀的氯化銨即為明證
控制氯氣流量電磁閥漏氣 更換
蝕刻速率突然減慢 回收反應減慢或失效 如用氯氣時檢查出氣管路有否結凍死，可用電風扇吹之使解凍/如用其他方式時，檢查化學品槽是否用完或管路或電磁閥的問題
管路漏水致使蝕液稀釋 蝕液比重是否下降，應在1。261-1。283，太低時表示有水漏入，要檢查冷凝管及其他可能的來源
蝕速減慢 ORP設定的毫伏數太低 不可低於500毫伏，否則再生能量會不夠
蝕液被漏水處或板子帶入的水所稀釋 檢查漏水處，或在輸送線中加裝氣幕或擠水的橡皮輪
比重太高 應維持在1。261-1。283間（55℃）
過蝕 輸送速度太慢 調整
蝕液中鹽酸太多 分析鹽酸含量，並檢查管路
比重太低 在55℃下檢查其比重是否仍在上述範圍，可增加含銅量以提高比重
蝕液發生過度再生 檢查設定之ORP資料，應在500-540毫伏間。
蝕刻不足 輸送速度太快 確定銅厚與輸送速度關係
蝕液溫度太低 調整
比重太高 加水稀釋至範圍內
噴壓不夠 檢查液麵是否太低，導致馬達抽空或管路漏水
蝕液再生不足 檢查ORP設定 。
