薄膜體聲波諧振器的高效研發分析工具
第7章和第8章針對厚度拉伸模態FBAR,考慮弱耦合效應的情況,基於小擾動假設推導二維標量微分方程,結合COMSOL軟體的PDE模組,建立等效三維模型,對不同電極形狀的影響展開詳細的討論...
第7章和第8章針對厚度拉伸模態FBAR,考慮弱耦合效應的情況,基於小擾動假設推導二維標量微分方程,結合COMSOL軟體的PDE模組,建立等效三維模型,對不同電極形狀的影響展開詳細的討論...
像張浩這樣的半導體領域專家更是關照物件,目前來看確實也取得了部分效果,隨著張浩的被捕,天津大學在此前專攻的微機電方向的研究已幾乎完全暫停,而張浩的公司也深受影響,當然與之對應的是美國在FBAR技術可以暫時高枕無憂...