ASML放開DUV光刻機供貨
光刻機作為晶片製造工藝中必不可少的一環一直備受各方關注，特別是在如今全球晶片極度短缺的前提下，誰能拿到更多的光刻機就意味著能夠提供更大的產能，進而在未來的晶片市場上佔有更多的份額和話語權。
在全球範圍內目前有四家企業能夠製造出光刻機，而只有ASML可以製造出EUV光刻機，也正是憑藉這一技術使得ASML的市值水漲船高，目前已經突破了3500億美元，成為了歐洲市值最高的科技公司。
ASML
最近ASML對我們的態度發生了微妙的變化——在11月5日開始舉辦的第四屆中國國際進口博覽會上，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波表示：“對向中國出口積體電路光刻機持開放態度，在法律法規框架下全力支援。目前ASML除了EUV光刻機無法對中國客戶供貨外，其他產品都可以正常發貨。”這也就意味著DUV光刻機已經徹底放開了限制。為什麼ASML突然改變了態度？
全球缺芯
全球缺芯問題依然嚴重
人工智慧的浪潮還沒有過去，新能源汽車又洶湧而至，再加上突然火爆起來的元宇宙，晶片的需求開始出現爆炸式增長，現有的晶片製造企業已經無法負擔起如此大的任務。除了少數的手機、顯示卡晶片以外，28nm及以上的車載晶片、物聯網晶片同樣面臨爆炸式增長的需求。
而晶片製造最重要的就是電力和水資源，目前無論是臺積電還是三星都已經遇到了產能擴張的瓶頸，相反大陸則有充足的電力和水力資源，再加上便利的基礎設施，因此ASML選擇放開針對國內的DUV光刻機的限制無疑會加速中國的晶片生產，進而緩解全球缺芯的問題。
尼康正在奮起直追
來自競爭對手的威脅
在ASML之前，尼康和佳能才是光刻機領域的霸主，尼康曾經研製出全球第一臺32nm光刻機和第一臺22nm光刻機。但是後來隨著日美半導體戰爭的影響，英特爾、AMD、摩托羅拉和ASML組成了EUV技術聯盟，而尼康和佳能則被排除在外。
EUV技術聯盟推進了EUV光刻機的發展，同時英特爾、三星和臺積電還分別收購了ASML40%、15%和10%的股份，因此這三大巨頭也逐漸放棄了尼康和佳能生產的光刻機而轉向了ASML的光刻機。這也奠定了如今ASML在光刻機領域霸主的地位。
但是尼康和佳能並未就此放棄光刻機研發，而是試圖繞過EUV技術，透過疊加精度和提高吞吐量來提高浸入式光刻機的生產力。尼康最新一代的NSR-S636E ArF 浸入式光刻機雖然不是EUV光刻機，但同樣也具備5nm晶片的製造能力。
如今ASML放開DUV光刻機也是為了應對尼康和佳能這兩個老對手的挑戰，提前搶佔市場防止它們對自己進行威脅。
國產28nm光刻機下線在即
國產光刻機量產在即
ASML放開DUV光刻機銷售的另一個重要原因則是國產可用於28nm晶片製造的193nm ArF準分子鐳射的乾式和浸沒式DUV光刻機即將下線。由上海微電子協同中科院長春光機所（EUV極紫外光源）、中國科學院化學研究所、中國科學院理化技術研究所、北京科華微電子材料有限公司（EUV光刻膠）、長春國科精密光學（高NA浸沒光學系統）、清華大學、華卓精科（光刻機雙工件臺系統）、中環股份（區熔矽單晶片產業化技術）等科研企業共同完成。
這臺凝聚了無數辛勤和汗水的光刻機也意味著我們成為了荷蘭和日本之後，第三個擁有生產28nm光刻機能力的國家。ASML此時放開DUV光刻機的一個重要原因就是我們馬上就能生產了，因此繼續限制已經沒有意義，還不如提前放開低價搶佔市場，這也是西方國家一貫的做法。
唯有自主研發才是正途
寫在最後
雖然ASML放開DUV光刻機對我們的晶片製造企業來說是一件好事，但是也應該繼續保持警惕。首先ASML只是放開了DUV光刻機的限制，EUV光刻機依然受限；其次則是我們不能放棄進一步的研發，雖然ASML的DUV光刻機很可能比國產的DUV光刻機便宜，但這也是因為我們能造了，所以ASML才會賣得如此便宜。
一旦我們因為貪圖一時的小利而放棄警惕，那麼曾經的限制必然會再次施加在我們身上。只有堅持自主研發才是唯一正確的道路。
