光刻機往事:從過去,看未來

光刻機往事:從過去,看未來

2002年,晶片產業發展進入瓶頸期。

最先進的光刻機,光源波長卡在193nm,晶片製程縮小至65nm。

而後,摩爾定律失效了。

臺積電光刻技術研發的負責人,祖籍潮汕,出生越南,畢業於美國,曾在IBM任職了22年,叫林本堅,提出了一個天才構想:

人在岸邊,很難看清楚魚的位置,因為光在水裡會產生折射。同理,

如果在現有的“乾式”光刻機裡面加水,透過折射,不就能縮短波長了嗎?

臺積電在IC設計,光刻技術等方面都不弱。但

在張忠謀的經營理念中,只有純做代工,才能真正打消客戶的顧慮。

客戶把設計圖,給英特爾,給三星,都怕他們抄你作業,但給臺積電,卻可以非常放心,我技術不比你差,但我只做代工,這是臺積電的經營之道。郭臺銘的鴻海集團,也深諳此道。

也正因為此,臺積電不會生產光刻機。

林本堅只能另尋他人,其輾轉於德日韓多國,不僅被巨頭尼康各種打壓,還被客戶無情拒絕,甚至,有客戶當面提出質疑:

“在機器里加水,你是瘋了吧?”

無奈之下,張忠謀只好把林本堅推薦給飛利浦。飛利浦在荷蘭有個沒出息的實驗室,叫ASML。林在ASML的小實驗室裡,不斷嘗試,最終獲得了成功。

小公司ASML靠“浸潤式光刻機”一舉擊潰霸主尼康,拿下全球70%的市場份額,從此一家獨大。

在相當長一段時間裡,

ASML的“浸潤式光刻機”,是DUV(深紫外線光刻機),後來才發展出來了EUV(極紫外線光刻機)。

DUV主要使用的是光的折射原理,而EUV使用的光的反射原理。理論上,EUV的極限只能做到25nm,而EUV目前已經能做到1nm。EUV有些核心技術在美國和日本手上,有些工藝,就算是現在的ASML,也無法突破。

故事的重點來了!

當年和林本堅一起研發“浸潤式光刻機”的,還有臺積電的其他專家,他們有些人,如今就任職於大陸晶片廠。

這些專家提出了另一個天才的想法:

如果把40nm製程的DUV,做多次折射,就可能做出7nm製程。

中芯突破7nm的傳聞,就是這麼來的。

老美接收到情報後,抓急了,對荷蘭說:“你們應該禁止ASML向中國出口DUV。”

ASML回懟:“我給他們出口的是40nm的DUV,符合美國規定,能不能做出7nm是他們的事,關我什麼?”

印尼的重要峰會,中荷會面。

會面的隔天,荷蘭外貿與發展合作大臣施賴納馬赫爾在接受媒體採訪時表示:在向中國出售晶片裝置的問題上,荷蘭將捍衛本國的經濟利益。

和德國的汽車廠一樣,荷蘭的ASML有1/3的市場,依賴於中國,唇亡齒寒。

丘吉爾說:“沒有永遠的朋友,只有永遠的利益。”

在外交場,價值觀,世界觀,最終都沒生意來得實在。

1。晶片,絕不是東搞搞光刻機,西搞搞工藝,那麼簡單。

人才才是關鍵,華人專家,歐美科學家,如何吸引他們?

2.經濟保持快速發展,是對抗美國封鎖,最重要的武器。

再補充一點:

昨晚,我參加某智庫的內部會議,與會的一位科學家,是原發改委科技司的司長,他說:

中國真正的安全問題,不是晶片被卡,而是高階儀表儀器被卡。

中國創新能力不高,主要因為原始創新能力不足,原始創新能力不足,有個原因,是因為科研裝置,高階儀表儀器高度依賴進口,人家給什麼,我們才能研究什麼。

科研,才是未來!

光刻機往事:從過去,看未來