ASML:只有EUV光刻機無法賣到中國,其它都不受限

眾所周知,在晶片製造過程中,最重要的一種裝置就是光刻機,它佔晶片製造裝置成本的20-30%,佔所有制造工時中的30%。

最重要的是,目前光刻機被一家公司壟斷著,特別是高階的EUV光刻機,這家公司就是ASML,荷蘭的一家公司。

ASML:只有EUV光刻機無法賣到中國,其它都不受限

先上一張圖,簡單的來介紹下ASML在光刻機上究竟有多強大,估計大家看圖就明白了。這張圖就是當前全球的主要光刻機技術圖。

目前ASML覆蓋了所有的光刻機層次,全部能生產,而超高階的7nm、5nm使用的光刻機,只有ASML能生產,而高階的7-28nm的,只有ASML、尼康能生產,至於佳能、上海微電子還處於90nm的節點,很明顯相差很多的。

ASML:只有EUV光刻機無法賣到中國,其它都不受限

而為了買到ASML的光刻機,像臺積電、三星、intel等都投資ASML,是ASML的股東,所以ASML的光刻機,會優先供應給臺積電、三星、intel這些企業,至於其它的企業,想買到ASML的光刻機,那得等ASML有多餘的才行。

當然更重要的是,ASML的光刻機,並不是想買就能買的,美國也在其中進行干預,透過瓦納森協議,控制ASML的出貨,不是ASML想賣給誰就賣給誰的,有錢也不一定能買到。

ASML:只有EUV光刻機無法賣到中國,其它都不受限

比如中國大陸的客戶,想要買EUV光刻機,目前就不太可能。ASML想賣也賣不了,美國不允許。

而近日,ASML 的中國區總裁沈波在接受採訪時表示,公司對向中國出口積體電路光刻機持開放態度,目前只有 EUV 光刻機無法對中國客戶(大陸)提供,其他產品(DUV)都可以正常發貨。

ASML:只有EUV光刻機無法賣到中國,其它都不受限

EUV光刻機和DUV光刻機有什麼不同?其實是按照曝光源的不同進行劃分的,EUV型(極深紫外線)、DUV型(深紫外線)。

如果從晶片工藝來看,DUV基本上只能做到25nm,透過多重曝光,最多能夠實現7nm,但良率就無法保證了,而EUV能滿足10nm以下的晶圓製造需求。

可見,如果我們想要製造10nm及以下的晶片,真的還必須努力發展自己的光刻機,別指望ASML了,所謂的開放,其實更多是指成熟工藝,並不是先進工藝。